Přejít k obsahu | Přejít k hlavnímu menu | Přejít k vyhledávání

Informace o projektu
Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku

Logo poskytovatele
Kód projektu
GA202/06/1473
Období řešení
1/2006 - 12/2008
Investor / Programový rámec / typ projektu
Grantová agentura ČR
  • Standardní projekty
Fakulta / Pracoviště MU
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova
depozice, tenké vrstvy, bariérové výboje

Cílem projektu je studium depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích hořících za atmosférického
tlaku. Pro depozice budou zvoleny takové typy výboje, které produkují homogenní plazma, aby rovněž deponované
vrstvy byly homogenní. Budou studovány možnosti depozice tenkých vrstev se specifickými vlastnostmi, např. vysoká tvrdost a otěruvzdornost vrstev atd. Vlastnosti výbojů budou charakterizovány pomocí elektrických měření a optické emisní spektroskopie. Připravené tenké vrstvy budou zkoumány různými diagnostickými metodami – morfologie povrchu bude studována pomocí AFM a SEM, chemické složení vrstev pomocí XPS a RBS, dále bude měřena mikrotvrdost, modul pružnosti vrstev a povrchová energie vrstev.

Publikace

Počet publikací: 20

2007

2006

Předchozí 1 2 Další

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.