Obrázek 51-2. RTG fluorescence používá jako zdroj rentgenového záření Mo nebo W lampu. Záření dopadající na vzorek budí rentgenové fluorescenční záření, které je upraveno kolimátorem a analyzujícím krystalem. Detekce se provádí vhodným detektorem, který analyzuje intenzitu fluorescenčního záření. Podle Němcová, Čermáková, Rychlovský (1997).